Präzisionsmaschine mit großem Durchmesser für Halbleiterwaferträger und Indexscheiben

Als spezialisierter Hersteller von hochpräzisen CNC-bearbeiteten Komponenten haben wir uns der Bewältigung der Fertigungsherausforderungen im Zusammenhang mit großformatigen, dünnwandigen Präzisionsscheibenkomponenten verschrieben. Diese Präzisions-Indexiergrundplatte wurde speziell für den Einsatz in Vakuumkammern für Halbleiter und High-End-Automatisierungssystemen entwickelt.

Durch den Einsatz einzigartiger Bearbeitungsspannungssteuertechniken stellen wir sicher, dass das Produkt trotz seines außergewöhnlich großen Durchmessers eine Ebenheit und Positionsgenauigkeit im Mikrometerbereich beibehält. Mit 20 Jahren Erfahrung in der Präzisionskomponentenfertigung können wir eine breite Palette von Hochleistungsmaterialien verarbeiten – darunter Aluminium in Luft- und Raumfahrtqualität (7075-T6) und Edelstahl (316L) – und ermöglichen so, dass Ihre Geräte eine überlegene Betriebsgenauigkeit erreichen.

Großformatige, dünnwandige Scheibenkomponenten sind besonders anfällig für bearbeitungsinduzierte Verformungen. Wir verwenden fortschrittliche künstliche Alterungs- und Spannungsentlastungsbearbeitungsprozesse – kombiniert mit vakuumunterstützten Spanntechniken –, um sicherzustellen, dass das Produkt während seines gesamten Lebenszyklus eine hervorragende Ebenheit und geometrische Stabilität beibehält.

Unter Nutzung von 4- und 5-Achsen-CNC-Bearbeitungszentren führen wir die gleichzeitige Bearbeitung aller Präzisionsbohrungen und Schlitze in einer einzigen Spannvorrichtung durch. Die Positionsgenauigkeit wird konstant innerhalb von ±0,01 mm kontrolliert, um eine perfekte Passform mit Ihren Präzisionssensoren oder Positionierstiften zu gewährleisten.

Wir bieten eine Vielzahl von Oberflächenbehandlungslösungen an, darunter Harteloxieren, chemische Vernickelung und Präzisionsschleifen. Unsere Produkte erfüllen strenge Reinraumstandards und zeichnen sich durch extrem niedrige Ausgasungsraten und eine außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit aus.

Jede Grundplatte wird zu 100 % mit einer ZEISS Koordinatenmessmaschine (KMG) inspiziert. Eindeutige Positionscodes, die auf der Oberfläche jedes Teils markiert sind, gewährleisten eine präzise Austauschbarkeit und vollständige Datenrückverfolgbarkeit innerhalb von groß angelegten Präzisionssystemen.